BOBty

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扩散/氧化/退火上下料机

产品特点

最高产能可抵达16000pcs/h

可凭证客户需求举行设置

特制细密陶瓷吸盘,陶瓷顶齿，，， ，，陶瓷侧齿，，， ，，镌汰硅片划伤，，， ，，包管装备的稳固性

手艺参数

手艺参数相关参数
产能8000/11000/16000 pcs/h
石英舟规格 1000/1200/1600槽 ，，， ，，节距2.38mm
硅片尺寸 166mm-210mm
适用花篮100 cassette
碎片率≤0.03%
开机率≥98%
耗宇量1000L/min
详细参数若有变换，，， ，，本公司不另行通知！
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